ブラスト加工によるポーラス材上へのピン形成 Pin formation on porous material with sandblasting technique

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抄録

65~45nmノードデバイスをCMP加工するために低圧・高速の小形工具を用いる枚様式研磨装置が開発されている. この装置は裏面基準を採用し, 平面矯正のために2重シール型真空ピンチャックを搭載しているが, 周辺の矯正不足や平坦度劣化の問題を抱えている. このため本研究では, 新しいポーラスピンチャックの開発を進めている. 本論文では, ポーラス上へのピン形成時の要求条件について明確にするとともに, ポーラス材粒度の選定方法や, ピン形成時に生じるポーラス材特有の加工特性について, その加工機構を含めて明らかにした. 加工残りの少ない加工は, ポーラス材粒子に近いサイズの砥粒で加工することによって実現でき, #220のアルミナセラミック製ポーラス材に対し, 砥粒GC#320, エア圧0.25MPa, ノズル送り速度50mm/min, 走査回数1回の条件でほぼ所要の加工を達成できることを示した.

収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers  

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 49(11), 632-637, 2005-11-01 

    The Japan Society for Abrasive Technology

参考文献:  7件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018278384
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09142703
  • NDL 記事登録ID
    7718966
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1147
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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