光散乱法による粒子計測--雑音成分低減の考察

• 高見 勝己

書誌事項

タイトル別名

• ヒカリ サンランホウ ニ ヨル リュウシ ケイソク ザツオン セイブン テイゲン ノ コウサツ

収録刊行物

• 空気清浄 : コンタミネーションコントロール

  空気清浄 : コンタミネーションコントロール 44 (3), 173-175, 2006

  東京 : 日本空気清浄協会

キーワード

• 微小粒子
• fine particle
• クリーンルーム
• clean room
• 粒子計数器
• particle counter
• 最小可測粒径
• minimum detectable particle size
• 究極不可避雑音源
• ultimately inevitable noise source

詳細情報

• CRID: 1521136278506889728
• NII論文ID: 10018311028
• NII書誌ID: AN00065670
• ISSN: 00235032
• NDL書誌ID: 8549412
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8549412
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles