スパッタエピタキシー技術と量子効果デバイスへの応用
書誌事項
- タイトル別名
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- SiGe Sputter Epitaxy and Its Application to Quantum Effect Devices
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会
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電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会 2006 (15), 15-18, 2006-10-03
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詳細情報
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- CRID
- 1571980075286572544
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- NII論文ID
- 10018312335
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- NII書誌ID
- AN10442556
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles