スパッタエピタキシー技術と量子効果デバイスへの応用

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タイトル別名
  • SiGe Sputter Epitaxy and Its Application to Quantum Effect Devices

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詳細情報

  • CRID
    1571980075286572544
  • NII論文ID
    10018312335
  • NII書誌ID
    AN10442556
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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