Cl系-Si系混合ガスを用いたエピ前低温表面処理法の検討 A Study on Low-Temperature Pre-Epi Surface Treatment Using Cl-based and Si-based Gas Mixture

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  • 電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会

    電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会 2006(15), 31-34, 2006-10-03

参考文献:  7件中 1-7件 を表示

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    BRABANT P.

    Appl. Surf. Sci. 224(1-4), 347-349, 2004

    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018312361
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10442556
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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