面方位依存性エッチングを用いた溝型静電誘導整流ダイオードの試作 Fabrication of static induction rectifiers with trench gate which are formed by orientation dependent-wet etching

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会  

    電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会 2006(47), 101-104, 2006-10-24 

参考文献:  4件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018312931
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1044178X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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