誘電体バリア放電の水晶振動子表面洗浄への応用

• 勝浦 隼人

  長岡技術科学大学

• 中村 翼

  長岡技術科学大学

• 古谷 清藏

  長岡技術科学大学

• 原田 信弘

  長岡技術科学大学

書誌事項

タイトル別名

• Application to surface cleaning of quartz crystal using dielectric barrier discharge

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. FTE, 新エネルギー・環境研究会

  電気学会研究会資料. FTE, 新エネルギー・環境研究会 2006 (26), 25-29, 2006-10-28

キーワード

• 誘電体バリア放電
• 水晶振動子
• 表面洗浄
• 接触角

詳細情報

• CRID: 1573387450170349952
• NII論文ID: 10018313858
• NII書誌ID: AA11215230
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles