輪郭精度50nmのダイヤモンドバイトの研磨加工 Diamond lapping of form accuracy 50nm

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収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers  

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 50(11), 666-667, 2006-11-01 

参考文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018318955
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    09142703
  • データ提供元
    CJP書誌 
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