Development of Micro Capacitive Inclination Sensor

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抄録

A micro capacitive inclination sensor was developed by using micro machining techniques. Electrodes of the sensor are 40 μm in a gap and 12 mm<sup>2</sup> in area. The sensor detects difference of capacitance, which varies with movement of silicone oil accompanying with inclination of the sensor, but there is a problem of surface tension caused by the narrow gap of the electrodes. In order to solve the problem, novel structures of the sensor for injection of the oil into micro channels and retaining a horizontal plane of the oil were devised. As a result, downsizing of the sensor was realized.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 126(12), 637-642, 2006-12-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  6件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018402581
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    8592898
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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