レーザーアブレーション法を用いた高温・高感度接合型NO_xガスセンサ High Temperature and High Sensitive NO_x Gas Sensor with Hetero-Junction Structure using Laser Ablation Method

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著者

    • 高 巍 GAO Wei
    • 埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室 Katsube Research Lab., Graduate School of Science and Engineering, Saitama University
    • 史 麗琴 SHI Liqin
    • 埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室 Katsube Research Lab., Graduate School of Science and Engineering, Saitama University
    • 勝部 昭明 KATSUBE Teruaki
    • 埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室 Katsube Research Lab., Graduate School of Science and Engineering, Saitama University

抄録

In order to develop a high temperature (200°C∼400°C) and high sensitive NO<sub>x</sub> gas sensor, we developed a new structure of SiC-based hetero-junction device Pt/SnO<sub>2</sub>/SiC/Ni, Pt/In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/SiC/Ni and Pt/WO<sub>3</sub>/SiC/Ni using a laser ablation method for the preparation of both metal (Pt) electrode and metal-oxide film. It was found that Pt/In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/SiC/Ni sensor shows higher sensitivity to NO<sub>2</sub> gas compared with the Pt/SnO<sub>2</sub>/SiC/Ni and Pt/WO<sub>3</sub>/SiC/Ni sensor, whereas the Pt/WO<sub>3</sub>/SiC/Ni sensor had better sensitivity to NO gas. These results suggest that selective detection of NO and NO<sub>2</sub> gases may be obtained by choosing different metal oxide films.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 126(12), 643-648, 2006-12-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  12件

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被引用文献:  6件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018402588
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    8592924
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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