レーザーアブレーション法を用いた高温•高感度接合型NO_xガスセンサ

• 高 巍

  埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室

• 史 麗琴

  埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室

• 長谷川 有貴

  埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室

• 勝部 昭明

  埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室

書誌事項

タイトル別名

• High Temperature and High Sensitive NO_x Gas Sensor with Hetero-Junction Structure using Laser Ablation Method
• レーザーアブレーション法を用いた高温・高感度接合型NOxガスセンサ
• レーザーアブレーションホウ オ モチイタ コウオン コウカンド セツゴウガタ NOx ガスセンサ

抄録

In order to develop a high temperature (200°C∼400°C) and high sensitive NO_x gas sensor, we developed a new structure of SiC-based hetero-junction device Pt/SnO₂/SiC/Ni, Pt/In₂O₃/SiC/Ni and Pt/WO₃/SiC/Ni using a laser ablation method for the preparation of both metal (Pt) electrode and metal-oxide film. It was found that Pt/In₂O₃/SiC/Ni sensor shows higher sensitivity to NO₂ gas compared with the Pt/SnO₂/SiC/Ni and Pt/WO₃/SiC/Ni sensor, whereas the Pt/WO₃/SiC/Ni sensor had better sensitivity to NO gas. These results suggest that selective detection of NO and NO₂ gases may be obtained by choosing different metal oxide films.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 126 (12), 643-648, 2006

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• SiC
• ヘテロ構造
• NO_xガスセンサ

詳細情報

• CRID: 1390001204462154880
• NII論文ID: 10018402588
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.126.643
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 8592924
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8592924
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/126/12/126_12_643/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可