レーザー生成高輝度放射光源開発研究の現状とその展望 Present Status and Future Prospect of Highly Bright Radiation Sources by Laser-Produced Plasma

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抄録

Properties of laser-produced plasmas (LPP) are described to generate intense radiation for various applications including extreme ultra-violet (EUV) light for next generation lithography. After an overview of LPP physics, state-of-the-art topics relevant to the 13.5 nm EUV source are described

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society  

    電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 126(12), 1195-1198, 2006-12-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  16件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018410706
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10136312
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03854205
  • NDL 記事登録ID
    8592731
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-793
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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