大気圧グロープラズマCVDによる材料合成

書誌事項

タイトル別名
  • Materials Processing in Atmospheric Pressure Glow Plasma CVD
  • タイキアツ グロー プラズマ CVD ニ ヨル ザイリョウ ゴウセイ

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抄録

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収録刊行物

  • 電気学会誌

    電気学会誌 126 (12), 788-791, 2006

    一般社団法人 電気学会

被引用文献 (2)*注記

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参考文献 (24)*注記

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