書誌事項
- タイトル別名
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- Materials Processing in Atmospheric Pressure Glow Plasma CVD
- タイキアツ グロー プラズマ CVD ニ ヨル ザイリョウ ゴウセイ
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抄録
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収録刊行物
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- 電気学会誌
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電気学会誌 126 (12), 788-791, 2006
一般社団法人 電気学会
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キーワード
詳細情報
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- CRID
- 1390282679973269888
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- NII論文ID
- 10018410857
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- NII書誌ID
- AN10432927
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- ISSN
- 18814190
- 13405551
- http://id.crossref.org/issn/13405551
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- NDL書誌ID
- 8591850
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可