Materials Processing in Atmospheric Pressure Glow Plasma CVD

• NOZAKI Tomohiro

  東京工業大学大学院理工学研究科機械制御システム専攻

• OKAZAKI Ken

  東京工業大学

Bibliographic Information

Other Title

• 大気圧グロープラズマCVDによる材料合成
• タイキアツ グロー プラズマ CVD ニ ヨル ザイリョウ ゴウセイ

Abstract

This article has no abstract.

Journal

• The Journal of The Institute of Electrical Engineers of Japan

  The Journal of The Institute of Electrical Engineers of Japan 126 (12), 788-791, 2006

  The Institute of Electrical Engineers of Japan

Keywords

• 大気圧グロー放電
• シース
• プラズマCVD
• カーボンナノチューブ

Details

• CRID: 1390282679973269888
• NII Article ID: 10018410857
• NII Book ID: AN10432927
• DOI: 10.1541/ieejjournal.126.788
• ISSN: 18814190
• ISSN: 13405551
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/13405551
• NDL BIB ID: 8591850
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/8591850
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8591850
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal/126/12/126_12_788/_pdf
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• Abstract License Flag: Disallowed