銅微細配線形成用無電解銅めっきにおける添加剤効果の電気化学的解析 An Electrochemical Investigation of Additive Effect in Trench-Filling of ULSI Interconnects by Electroless Copper Deposition

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 電気化学および工業物理化学 : denki kagaku

    電気化学および工業物理化学 : denki kagaku 75(4), 349-358, 2007-04-05

    電気化学会

参考文献:  25件中 1-25件 を表示

  • <no title>

    KELLY J. J.

    Electrochem. Solid-State Lett. 2, 561, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIURA S.

    Electrochemistry 69, 773, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    HASEGAWA M.

    J. Electrochem. Soc. 152, C221, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    MOFFAT T. P.

    IBM J. Res. Dev. 49, 19, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHINGUBARA S.

    Electrochem. Solid-State Lett. 7, C78, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    WANG Z.

    J. Electrochem. Soc. 151, C781, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    WANG Z.

    Jpn. J. Appl. Phys. 43, 7000, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    LEE C. H.

    Electrochim. Acta 50, 3563, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    LEE C. H.

    Electrochem. Solid-State Lett. 8, C110, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    HASEGAWA M.

    Electrochem. Solid-State Lett. 9, C138, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKANO H.

    J. Electrochem. Soc. 152, C163, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    WAGNER C.

    Z. Elektrochem. 44, 391, 1938

    被引用文献1件

  • <no title>

    OKINAKA Y.

    Advances in Electrochemical Science and Engineering 3, 55, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    FELDMANN B. J.

    J. Electrochem. Soc. 136, 640, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    ANDRICACOS P. C.

    IBM J. Res. Develop. 42, 567, 1998

    被引用文献30件

  • <no title>

    TAEPHAISITPHONGSE P.

    J. Electrochem. Soc. 148, C492, 2001

    被引用文献5件

  • <no title>

    MOFFAT T. P.

    J. Electrochem. Soc. 147, 4524, 2000

    被引用文献6件

  • <no title>

    MOFFAT T. P.

    Electrochem. Solid-State Lett. 5, C110, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    WEST A. C.

    Electrochem. Solid State Lett. 4, C50, 2001

    被引用文献4件

  • <no title>

    SCHOENBERG L. N.

    J. Electrochem. Soc. 119, 1491, 1972

    DOI 被引用文献4件

  • <no title>

    DARKEN J.

    Trans. Inst. Metal Finish. 69, 66, 1991

    被引用文献2件

  • <no title>

    HONMA H.

    J. Electrochem. Soc. 141, 730, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    PAUNOVIC M.

    J. Electrochem. Soc. 130, 794, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    HUNG A.

    J. Electrochem. Soc. 132, 1047, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    WIESE H.

    Ber. Bunsenges. Phys. Chem. 91, 619, 1987

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018415889
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00151637
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13443542
  • NDL 記事登録ID
    8780812
  • NDL 雑誌分類
    ZP1(科学技術--化学・化学工業)
  • NDL 請求記号
    Z17-14
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ