フルオロカーボンプラズマのエッチングメカニズム Investigation of Etching Mechanism in Fluorocarbon Plasma

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収録刊行物

  • プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research  

    プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research 83(4), 330-335, 2007-04-25 

参考文献:  22件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018419477
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10401672
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09187928
  • データ提供元
    CJP書誌 
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