ポリシリコン薄膜トランジスタのナノ双晶ヒロックの構造解析 Analysis of (111) Nanotwin Lamellae Hillocks in Poly-silicon Thin Films Transistor

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  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 45(12), 849, 2006-12-20

    公益社団法人 日本金属学会

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    KOYAMA J.

    AMLCD Digest, 1999, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    LEE B.

    IEEE ISSCC Digest, 2003, 2003

    被引用文献1件

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    IMAI S.

    Appl. Phys. Lett. 88, 021912, 2006

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018421884
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    13402625
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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