CBED-FEM併用による半導体基板中の局所応力場の空間分布解析 Analysis of Local Stress Distribution in Si Wafer by Combination Technique of CBED and FEM

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収録刊行物

  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 45(12), 882, 2006-12-20

    公益社団法人 日本金属学会

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018421970
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    13402625
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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