二硫化モリブデンスパッタ膜の酸素濃度とS/Mo比のEPMA分析値に及ぼす分析装置内での保持時間の影響 Effect of Retention Time in Vacuum on Analytical Values by EPMA for Oxygen Contents and S/Mo Ratio of Molybdenum Disulfide Sputtered Films

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収録刊行物

  • トライボロジスト = JOURNAL OF JAPANESE SOCIETY OF TRIBOLOGISTS  

    トライボロジスト = JOURNAL OF JAPANESE SOCIETY OF TRIBOLOGISTS 51(12), 913-920, 2006-12-15 

    日本トライボロジー学会

参考文献:  10件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018447598
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10056166
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09151168
  • NDL 記事登録ID
    8612993
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-540
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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