UVナノインプリントモールドにおける石英ドライエッチングの形状制御 Control of Etched Pattern Profile in Quartz Dry Etching Process for Fabricating Fine Quartz Mold of UV-Nanoimprint

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収録刊行物

  • 日本印刷学会誌

    日本印刷学会誌 43(6), 441-447, 2006-12-31

    日本印刷学会

参考文献:  18件中 1-18件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018457066
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10161648
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09143319
  • NDL 記事登録ID
    8623399
  • NDL 雑誌分類
    ZP48(科学技術--印写工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-491
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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