金属／絶縁体界面の物理： ショットキーバリアと原子混晶化

• 中山 隆史

  千葉大学理学部物理学科

• 白石 賢二

  筑波大学大学院数理物質科学研究科 科学技術振興機構 CREST

書誌事項

タイトル別名

• Physics of Metal/Insulator Interfaces: Schottky Barrier and Atom Intermixing
• キンゾク ゼツエンタイ カイメン ノ ブツリ ショットキー バリア ト ゲンシ コンショウカ

抄録

Recent two topics on Schottky barrier at metal/Hf-based dielectric interfaces and atom intermixing at metal/semiconductor interfaces are reviewed. We have constructed a universal theory of Schottky barriers based on a concept of generalized charge neutrality levels. This theory systematically explains barriers of various gate materials, in particular the unusual behavior of p-metals, and naturally reproduces band offsets at various semiconductor/semiconductor interfaces. On the other hand, we have clarified the mechanisms of atom intermixing at various metal/semiconductor interfaces by analyzing the thermal diffusion. It is shown that atom rebonding, screening of bonds, and strain relaxation are important factors to realize the intermixing.

収録刊行物

• 表面科学

  表面科学 28 (1), 28-33, 2007

  公益社団法人 日本表面科学会

キーワード

• General Computer Science

詳細情報

• CRID: 1390282681434888960
• NII論文ID: 10018461516
• NII論文ID: 130004486352
• NII書誌ID: AN00334149
• DOI: 10.1380/jsssj.28.28
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD2sXjtlyntb8%3D
• ISSN: 18814743
• ISSN: 03885321
• NDL書誌ID: 8649034
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8649034
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsssj/28/1/28_1_28/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可