化学吸着単分子膜を利用したマイクロレンズアレイ製作法 Fabrication of Micro-Lens Array using a Chemically Adsorbed Monomolecular Layer

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抄録

We proposed a new method of patterning a chemically adsorbed monomolecular layer on the substrate and then dropping UV cure material to form a lens shape using oil repellent effect of this film. The curvature radius of the lens was controlled by the amount of the dropped UV cure material. Using this method, a micro-lens array of various radiuses was fabricated. The formed micro-lens array shapes are transferred by the electro-plating and then the micro dies are fabricated, which are used for molding the plastic lens array. The optical characteristic of the molded micro-lens was evaluated.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 127(2), 82-88, 2007-02-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  7件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018480063
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    8668884
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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