マイクロ光造形法で作製した構造物の機械的特性評価 Mechanical Property Evaluation of Micro Cantilever Fabricated Using Micro-Stereolithography

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抄録

Dependence of elastic modulus of micro cantilever fabricated by micro-stereolithography (μSL) on irradiation laser power is investigated in this study. The samples are formed by changing the irradiation laser power of μSL system and postcure processing time. A device for measuring deflection of the micro cantilever and applied load is developed. Then, the elastic moduli of the samples are evaluated from the gradient of the measured load-deflection relation and the formula of the strength of materials. Results show that the elastic modulus of the micro cantilever made by μSL is depend on the irradiation laser power. That is, the mechanical property of micro structures can be controlled by the irradiation laser power and post cure process.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 127(2), 102-108, 2007-02-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  10件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018480097
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    8668955
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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