配線信頼性における界面密着性の役割 Role of Interface Adhesion Strength in Interconnection Reliability

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著者

    • 小池 淳一 KOIKE Junichi
    • 東北大学大学院工学研究科知能デバイス材料学専攻 Department of Materials Science, Tohoku University
    • 飯島 純 IIJIMA Jun
    • 東北大学大学院工学研究科知能デバイス材料学専攻 Department of Materials Science, Tohoku University
    • 根石 浩司 NEISHI Koji
    • 東北大学大学院工学研究科知能デバイス材料学専攻 Department of Materials Science, Tohoku University

収録刊行物

  • 表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan

    表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan 28(2), 67-71, 2007-02-10

    日本表面科学会

参考文献:  8件中 1-8件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018498325
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    8687386
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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