配線信頼性における界面密着性の役割

• 小池 淳一

• 貝沼 亮介

• 関口 貴子

書誌事項

タイトル別名

• ハイセン シンライセイ ニ オケル カイメン ミッチャクセイ ノ ヤクワリ
• 特集:半導体プロセスの評価
• トクシュウ ハンドウタイ プロセス ノ ヒョウカ

収録刊行物

• 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編

  表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 28 (2), 67-71, 2007-02

  東京 : 日本表面科学会

詳細情報

• CRID: 1521699229877138432
• NII論文ID: 10018498325
• NII書誌ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• NDL書誌ID: 8687386
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8687386
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles