低エネルギー酸素イオンを用いたSIMS深さ方向分析 : 測定プロファイルにおける拡散と偏析の影響 Diffusion and Segregation Effect in SIMS Depth Profiling using Low-energy Oxygen Primary Ions

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  • 表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan

    表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan 28(2), 72-77, 2007-02-10

    日本表面科学会

参考文献:  25件中 1-25件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018498334
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    8687390
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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