Influence of Circuit Parameter in Production of Plasma by Capacity-Coupled Electrode
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- SASAKI Tadahiro
- Iwate University
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- MUKAIGAWA Seiji
- Iwate University
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- TAKAKI Koichi
- Iwate University
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- FUJIWARA Tamiya
- Iwate University
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- MASE Hiroshi
- Ibaraki University
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- SATO Noriyoshi
- Tohoku University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 容量連結型電極を用いたプラズマ生成における回路パラメータの影響
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- 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
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電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2007 (1), 49-54, 2007-01-26
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1574231875133193856
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- NII Article ID
- 10018499815
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- NII Book ID
- AA11501025
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles