パルス変調Ar-N_2誘導熱プラズマによる窒素原子数増幅効果の電力・変調条件依存性

• 林 耕平

  金沢大学

• 中村 司

  金沢大学

• 田中 康規

  金沢大学

• 上杉 喜彦

  金沢大学

書誌事項

タイトル別名

• Effect of modulation condition on excited nitrogen atoms downstream of Ar-N_2 pulse-modulated induction thermal plasma

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2007 (1), 75-80, 2007-01-26

キーワード

• 熱プラズマ
• パルス変調
• 窒化処理
• 励起窒素原子
• OES

詳細情報

• CRID: 1572543025272933376
• NII論文ID: 10018499865
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles