直流プラズマCVD法によるDLC-Si膜の摩擦摩耗特性
収録刊行物
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- 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集, 鳥取 秋2004-11
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日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集, 鳥取 秋2004-11 2004
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詳細情報
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- CRID
- 1573105975198737280
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- NII論文ID
- 10018504884
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- データソース種別
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- CiNii Articles