アルミニウム誘起結晶化法による多結晶シリコン薄膜形成挙動のその場加熱観察 In-Situ Heating Observation for Formation Behavior of Polycrystalline Silicon Thin Films Fabricated Using Aluminum Induced Crystallization

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著者

    • 池田 賢一 IKEDA Ken-ichi
    • 九州大学大学院総合理工学研究院融合創造理工学部門 Department of Electrical and Materials Science, Faculty of Engineering Sciences, Kyushu University
    • 廣田 健 HIROTA Takeshi
    • 九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻 Department of Molecular and Material Sciences, Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
    • 藤本 健資 [他] FUJIMOTO Kensuke
    • 九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻 Department of Molecular and Material Sciences, Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
    • 杉本 陽平 SUGIMOTO Youhei
    • 九州大学大学院総合理工学府量子プロセス理工学専攻 Department of Applied Science for Electronics and Materials, Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
    • 高田 尚記 TAKATA Naoki
    • 九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻 Department of Molecular and Material Sciences, Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
    • 井 誠一郎 II Seiichiro
    • 崇城大学工学部機械工学科 Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Sojo University
    • 中島 英治 NAKASHIMA Hideharu
    • 九州大学大学院総合理工学研究院融合創造理工学部門 Department of Electrical and Materials Science, Faculty of Engineering Sciences, Kyushu University

収録刊行物

  • 日本金屬學會誌 = Journal of the Japan Institute of Metals  

    日本金屬學會誌 = Journal of the Japan Institute of Metals 71(2), 158-163, 2007-02-01 

    日本金属学会

参考文献:  16件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018509079
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00062446
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    00214876
  • NDL 記事登録ID
    8676892
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-314
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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