白色光干渉法による透明膜に覆われた物体の膜厚と表面形状の同時測定

• 小川 英光

• 下山 賢一

• 福永 正和

書誌事項

タイトル別名

• ハクショクコウ カンショウホウ ニ ヨル トウメイマク ニ オオワレタ ブッタイ ノ マクアツ ト ヒョウメン ケイジョウ ノ ドウジ ソクテイ
• Simultaneous measurement of film thickness and surface profile of film-covered objects by using white-light interferometry

収録刊行物

• 計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers

  計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers 43 (2), 71-77, 2007-02

  東京 : 計測自動制御学会 ; [1965]-

キーワード

• white-light interferometry
• surface profiler
• transparent film
• thickness

詳細情報

• CRID: 1520009409025376000
• NII論文ID: 10018544258
• NII書誌ID: AN00072392
• ISSN: 04534654
• NDL書誌ID: 8723832
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8723832
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles