「次世代ULSIデバイスのための誘電体薄膜 : 科学と技術」に関する2006年国際ワークショップ(IWDTF 2006)報告

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収録刊行物

  • 應用物理  

    應用物理 76(2), 186, 2007-02-10 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018546540
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    03698009
  • データ提供元
    CJP書誌 
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