「スパッタリング技術の進展と今後への期待」小特集号に寄せて

• 草野 英二

  金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター

収録刊行物

• 真空

  真空 50 (1), 2-, 2007

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679044240384
• NII論文ID: 10018546545
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.50.2
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles