企業から見たスパッタリング技術の進展と今後への期待

  • 石橋 啓次
    キヤノンアネルバ株式会社 エレクトロンデバイス装置事業部

書誌事項

タイトル別名
  • An Advance and Prospects in Sputtering Technology
  • キギョウ カラ ミタ スパッタリング ギジュツ ノ シンテン ト コンゴ エ ノ キタイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 50 (1), 9-14, 2007

    一般社団法人 日本真空学会

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参考文献 (10)*注記

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