フラットパネルディスプレイ(FPD)製造用大型スパッタリング装置の現状と課題 Present Status and Tasks of Large Substrate Size Sputtering System for Flat Panel Display Manufacturing

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収録刊行物

  • 真空  

    真空 50(1), 28-33, 2007-01-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018546666
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    8675468
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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