Present Status and Tasks of Large Substrate Size Sputtering System for Flat Panel Display Manufacturing

• SUNAGA Yoshio

  Flat Panel Display Group, ULVAC Inc.

Bibliographic Information

Other Title

• フラットパネルディスプレイ（FPD）製造用大型スパッタリング装置の現状と課題
• フラットパネルディスプレイ FPD セイゾウヨウ オオガタ スパッタリング ソウチ ノ ゲンジョウ ト カダイ

Journal

• Shinku

  Shinku 50 (1), 28-33, 2007

  The Vacuum Society of Japan

Keywords

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

Details

• CRID: 1390282679044237440
• NII Article ID: 10018546666
• NII Book ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.50.28
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL BIB ID: 8675468
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8675468
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles