チタン材料の真空特性と応用展開 Vacuum Characteristics of Titanium Materials and Applications to UHV Systems

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

抄録

  This paper reviewed the vacuum characteristic of titanium materials and applications to an UHV system of the current research and development. It has been found that the outgassing rate of the titanium material is very low compared with an existing material such as a stainless steel or an aluminum alloy, and the UHV system made of the titanium material has very high vacuum performance, e.g., very quick pumping and the achievement of UHV/XHV pressure under the simple pre-baking condition.<br>

収録刊行物

  • 真空

    真空 50(1), 41-46, 2007-01-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  25件中 1-25件 を表示

  • <no title>

    MINATO M.

    J. Vac. Soc. Jpn. 37, 113, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    MINATO M.

    J. Vac. Soc. Jpn. 36, 175, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITOH Y.

    J. Vac. Soc. Jpn. 40, 248, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    HOMMA T.

    J. Vac. Soc. Jpn. 40, 513, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    OKADA T.

    J. Vac. Soc. Jpn. 43, 345, 2000

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAITO Y.

    Vacuum 73, 181, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    MORIMOTO Y.

    J. Vac. Soc. Jpn. 45, 665, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    MORIMOTO Y.

    J. Vac. Soc. Jpn. 47, 375, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    TAKAHASHI Y.

    J. Vac. Soc. Jpn. 45, 533, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    NISHIBA T.

    J. Vac. Soc. Jpn. 45, 590, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    TAKEMURA A.

    R&D Kobe Steel Engineering Reports 49, 49, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    KURISU H.

    J. Vac. Sci. Technol., A 21, L10, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    MURANAKA T.

    J. Vac. Soc. Jpn. 47, 116, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    WADA N.

    J. Vac. Soc. Jpn. 47, 112, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    松浦満

    チタン 52, 118, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    栗巣普揮

    電子材料 9月号, 26, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    KURISU H.

    J. Vac. Soc. Jap. 49, 254, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    INAYOSHI S.

    J. Vac. Soc. Jpn. 41, 96, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    MINATO M.

    J. Vac. Sci. Technol. A13,540, 1995

    被引用文献6件

  • <no title>

    MINATO M.

    Vacuum 47, 683, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    HOMMA T.

    Appl. Surf. Sci. 100/101, 189, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIZUNO Y.

    J. Vac. Sci. Technol., A 19, 2571, 2001

    被引用文献3件

  • <no title>

    MIZUNO Y.

    J. Vac. Sci. Technol., A 20, 1716, 2002

    被引用文献3件

  • 真空装置用の表面処理とその気体放出特性

    稲吉 さかえ

    金属 74(1), 64-70, 2004-01

    被引用文献3件

  • <no title>

    SAITO K.

    Vacuum 47, 749, 1996

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018546692
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    8675500
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
ページトップへ