チタン材料の真空特性と応用展開 Vacuum Characteristics of Titanium Materials and Applications to UHV Systems

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抄録

  This paper reviewed the vacuum characteristic of titanium materials and applications to an UHV system of the current research and development. It has been found that the outgassing rate of the titanium material is very low compared with an existing material such as a stainless steel or an aluminum alloy, and the UHV system made of the titanium material has very high vacuum performance, e.g., very quick pumping and the achievement of UHV/XHV pressure under the simple pre-baking condition.<br>

収録刊行物

  • 真空  

    真空 50(1), 41-46, 2007-01-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  25件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018546692
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    8675500
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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