70mmコンフラットフランジマウント型加熱冷却機構付きシリコン単結晶ホルダー Silicon Single Crystal Wafer Holder with a Cold Trap and a Direct Current Heating Mechanism Mounted on a Conflat Flange with an Outer Diameter of 70mm

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抄録

  We introduce a silicon single crystal wafer holder with a cold trap and a direct current heating mechanism mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. It consists of 300-m<i>l</i> cold trap, tantalum electrodes for direct-current heating and commercial electrical feedthroughs. A silicon single crystal with a size of 30×5×0.5 mm can be heated to >1100 °C by direct heating, and can be cooled down to <100 K with liquid nitrogen.<br>

収録刊行物

  • 真空  

    真空 50(1), 57-59, 2007-01-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  8件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018546750
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    8675564
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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