第28回真空展 VACUUM2006 の報告

• 佐々木 正巳

  キヤノンアネルバテクニクス(株)

• 執行 宣光

  神港精機(株)

収録刊行物

• 真空

  真空 50 (1), 60-61, 2007

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679044248192
• NII論文ID: 10018546759
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.50.60
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles