Non-Equilibrium Modelling of High Power-Density Ar-N_2-H_2 Induction Plasmas at Reduced Pressure

• TANAKA Yasunori

  Kanazawa University

Journal

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2007 (67), 51-56, 2007-02-02

Keywords

• Ar-N_2-H_2 induction thermal plasma
• thermally non-equilibrium
• chemically non-equilibrium

Details

• CRID: 1574231875128708224
• NII Article ID: 10018574561
• NII Book ID: AN10320559
• Text Lang: en
• Data Source:
  • CiNii Articles