EUV光源用レーザー生成スズプラズマから発生する中性原子及び高速イオンの特性 Characteristics of the Neutral Atoms and Fast Ions Generated from Laser-Produced Tin Plasma for EUV Light Sources

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会  

    電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会 2007(1), 51-55, 2007-02-02 

参考文献:  6件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018575373
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11404459
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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