シリコン基板上の沸騰伝播現象を利用したマイクロポンプ

• 金 政〓

  佐賀大学 海洋エネルギー研究センター

• 奥山 邦人

  横浜国立大学 工学研究院 機能の創生部門

• 森 昌司

  横浜国立大学 工学研究院 機能の創生部門

書誌事項

タイトル別名

• Micropump Using Boiling Propagation Phenomena on a Silicon Substrate

収録刊行物

• 伝熱 : journal of the Heat Transfer Society of Japan

  伝熱 : journal of the Heat Transfer Society of Japan 46 (194), 1-8, 2007-01-01

キーワード

• Micropump
• Boiling propagation
• Pulse heating
• Silicon substrate

詳細情報

• CRID: 1572543025268074112
• NII論文ID: 10018576151
• NII書誌ID: AA11315621
• ISSN: 13448692
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles