超精密加工機での振動問題とその対策

• 甲斐 義章

• 福田 将彦

書誌事項

タイトル別名

• チョウセイミツ カコウキ デノ シンドウ モンダイ ト ソノ タイサク
• The counter of vibration on the ultra-precision machine
• 特集 砥粒加工における振動の功罪
• トクシュウ トリュウ カコウ ニ オケル シンドウ ノ コウザイ

収録刊行物

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 51 (3), 141-144, 2007-03

  東京 : 砥粒加工学会

キーワード

• vibration
• chatter
• ultra-precision
• aspheric lens
• air spindle
• damper

詳細情報

• CRID: 1520290883412142464
• NII論文ID: 10018576721
• NII書誌ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL書誌ID: 8717680
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8717680
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles