高周波スパッタリング法による強誘電体膜の量産技術

• 鄒 紅[コウ]

Bibliographic Information

Other Title

• コウシュウハ スパッタリングホウ ニ ヨル キョウユウデンタイ マク ノ リョウサン ギジュツ
• The mass production technology of ferroelectric films by radio frequency magnetron sputtering
• 特集 強誘電体薄膜研究の新局面
• トクシュウ キョウユウデンタイ ハクマク ケンキュウ ノ シンキョクメン

Journal

• Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan

  Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 42 (3), 162-168, 2007-03

  東京 : 日本セラミックス協会

Keywords

• Ferroelectric
• Piezoelectric
• Pb (Zr, Ti) O3
• RF magnetron sputtering
• Mass procuction

Details

• CRID: 1520009408938359808
• NII Article ID: 10018578691
• NII Book ID: AN00131516
• ISSN: 0009031X
• NDL BIB ID: 8731480
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8731480
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles