高性能シリコンマイクロホンの周波数特性改善および動作電圧低減に向けた要素技術の開発

• 井口 義則

• 後藤 正英

• 小野 一穂

Bibliographic Information

Other Title

• コウセイノウ シリコンマイクロホン ノ シュウハスウ トクセイ カイゼン オヨビ ドウサ デンアツ テイゲン ニ ムケタヨウソ ギジュツ ノ カイハツ

Journal

• 映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report

  映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report 30 (54), 17-20, 2006-10

  東京 : 映像情報メディア学会

Keywords

• シリコン
• マイクロホン
• MEMS
• silicon
• microphone

Details

• CRID: 1520572359082800256
• NII Article ID: 10018631432
• NII Book ID: AN1059086X
• ISSN: 13426893
• NDL BIB ID: 8605164
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8605164
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles