プラズマイオン注入成膜法で作製したDLC膜中のピンホール欠陥の評価と抑制

• 西野 航

  兵庫県立大学

• 藤原 閲夫

  兵庫県立大学

• 内田 仁

  兵庫県立大学

• 八束 充保

  兵庫県立大学

書誌事項

タイトル別名

• Evaluation and Reduction of Pinhole Defects in DLC Film Prepared with Plasma-based Ion Implantation and Deposition

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2006 (84), 7-12, 2006-11-10

キーワード

• ダイヤモンドライクカーボン
• ピンホール欠陥
• プラズマイオン注入成膜法
• 臨界不動態電流密度
• 耐食性

詳細情報

• CRID: 1570009750439276032
• NII論文ID: 10018647457
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles