Study of characteristics of ion flow generated by microplasmas with helium miniature gas flow
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- YAMAUTI Takahiko
- Tokyo Institute of Technology
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- NANNO Kenichi
- Tokyo Institute of Technology
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- IBUKA Shinji
- Tokyo Institute of Technology
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- YASUOKA Koichi
- Tokyo Institute of Technology
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- ISHII Shozo
- Tokyo Institute of Technology
Bibliographic Information
- Other Title
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- 微細ガス流マイクロプラズマで生成されるイオン流の特性に関する研究
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Journal
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- 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
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電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2006 (84), 61-66, 2006-11-10
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1570291225416146304
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- NII Article ID
- 10018647513
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- NII Book ID
- AA11501025
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles