微細ガス流マイクロプラズマで生成されるイオン流の特性に関する研究

• 山内 隆彦

  東京工業大学

• 南野 健一

  東京工業大学

• 井深 真治

  東京工業大学

• 安岡 康一

  東京工業大学

• 石井 彰三

  東京工業大学

書誌事項

タイトル別名

• Study of characteristics of ion flow generated by microplasmas with helium miniature gas flow

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2006 (84), 61-66, 2006-11-10

キーワード

• マイクロプラズマ
• ガス流
• イオン源
• イオン流

詳細情報

• CRID: 1570291225416146304
• NII論文ID: 10018647513
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles