Surface characterization of SiO_2 films converted from perhydropolysilazane by curing treatment

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. MBE, 医用・生体工学研究会  

    電気学会研究会資料. MBE, 医用・生体工学研究会 2006(75), 39-42, 2006-11-08 

参考文献:  7件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018648165
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10074011
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ