フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロアレイセンサの特性改善

• 田中 恒久

  大阪府立産業技術総合研究所 大阪大学大学院基礎工学研究科

• 李 昇穆

  大阪府立産業技術総合研究所

• 宇野 真由美

  大阪府立産業技術総合研究所

• 井上 幸二

  大阪府立産業技術総合研究所

• 青柳 誠司

  関西大学工学部

• 山下 馨

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 奥山 雅則

  大阪大学大学院基礎工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Improvement of Ultrasonic Micro Array Sensor Using the Amorphous Fluorocarbon Polymer Film
• フッソケイ ジュシ オ モチイタ チョウオンパ マイクロアレイセンサ ノ トクセイ カイゼン

抄録

Arrayed ultrasonic transducers using the piezoelectric thin film (lead-zirconate-titanate film: Pb(Zr_0.52Ti_0.48)O₃ : PZT) having multilayer diaphragm structures are fabricated. The variation in resonant frequencies of conventional ultrasonic sensors is 7.3% in standard deviation, although those have the same structure. In order to reduce the variation of resonant frequency, membrane is coated by amorphous fluorocarbon polymer (FC) film (CYTOP, AGC). The variation in resonant frequencies of new ultrasonic sensors is 2.3% in standard deviation. The resonant frequency and Q-value and sensitivity of new ultrasonic sensors are estimated to be on the order of 56.9kHz and 28.3 and 114 μV/Pa, respectively. This amorphous fluorocarbon polymer film is effective for improvement of reception characteristic of ultrasonic sensor. This ultrasonic micro array sensor using the amorphous fluorocarbon polymer film is shown to be useful for three-dimensional object detection system.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 127 (1), 7-13, 2007

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 超音波センサ
• マイクロアレイセンサ
• 共振周波数
• メンブレン
• 樹脂
• MEMS技術

詳細情報

• CRID: 1390282679437769344
• NII論文ID: 10018660300
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.127.7
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 8625963
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8625963
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/127/1/127_1_7/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可