材料科学計測のためのレーザ干渉精密測長技術

  • 覚間 誠一
    北海道大学大学院工学研究科応用物理学専攻光波動量子物理工学講座計測情報論研究室

書誌事項

タイトル別名
  • Laser Interferometric Length Measurement Techniques for Material Science
  • ザイリョウ カガク ケイソク ノ タメ ノ レーザ カンショウ セイミツソクチョウ ギジュツ

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収録刊行物

  • まてりあ

    まてりあ 46 (1), 3-8, 2007

    公益社団法人 日本金属学会

参考文献 (14)*注記

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