レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡のLSI故障解析への応用

• 山下 将嗣

  理化学研究所

• 二川 清

  NECエレクトロニクス

• 斗内 政吉

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 大谷 知行

  理化学研究所

• 川瀬 晃道

  名古屋大学

書誌事項

タイトル別名

• Laser THz Emission Microscope for LSI Failure Analysis

収録刊行物

• レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan

  レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 357 1-4, 2007-01-17

詳細情報

• CRID: 1573668925167580032
• NII論文ID: 10018703824
• NII書誌ID: AA11604414
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles